高純水設(shè)備的運(yùn)行通常只以電阻率來(lái)進(jìn)行水質(zhì)監(jiān)控。這種制備方法需要若干步驟。以本地用水為純化水源時(shí),須在*終精制之前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理。純化的初始步驟包括DI(去離子技術(shù))或者RO(反滲透)/EDI(連續(xù)電流去離子技術(shù))聯(lián)用。盡管通過(guò)這兩種技術(shù)都能獲得電阻率較高的高純水,但是當(dāng)更能精確地監(jiān)控高純水質(zhì)量的T O C(有機(jī)碳總量)也被列入考查指標(biāo)的時(shí)候,不同制備技術(shù)得到的高純水之間水質(zhì)的差異就明顯了。由于T O C偏高,選用去去離子技術(shù)(D I)進(jìn)行預(yù)處理需要更加嚴(yán)謹(jǐn)?shù)木S護(hù)和操作。而且,樹(shù)脂再生之后使用,容易導(dǎo)致有機(jī)物脫落進(jìn)入離子交換精制介質(zhì)甚至后面的過(guò)濾器,進(jìn)而影響、削弱整個(gè)系統(tǒng)的效率、可靠性和使用壽命。