正通常采用電阻率、粒子大小和細(xì)菌數(shù)目來(lái)衡量高純水的純度。目前主要以電阻率為標(biāo)準(zhǔn),它的單位以兆歐 厘米來(lái)表示。水在25℃時(shí)的*高電阻率為18.3兆歐 厘米。水質(zhì)的好壞與電阻率的高低成正比。 按電阻率高低,可將純水分為四類: (1)軟化水:硬度為0.1～5 之間; (2)脫鹽水:25℃時(shí)電阻率為0..1～1兆歐 厘米; (3)純水:25℃時(shí)水的電阻率為1～10兆歐 厘米; (4)高純水:25℃時(shí)水的電阻率為10兆歐 厘米以上。 由于用途不同而對(duì)水的質(zhì)量的要求也不同。如,對(duì)于集成電路的生產(chǎn)用水,其要求是:電阻率為18～19兆歐 厘米,粒子尺寸0.45微米,細(xì)菌數(shù)為0～10個(gè)/毫升。